幾種常見混合氣的用途
(1)激光混合氣:
常見的激光混合氣有氦氖激光混合氣、二氧化碳激光混合氣、氪氟激光混合氣、密封束激光混合氣和準分子激光混合氣。
(2)標準校正氣體:
標準校正氣體的應用:
1、在氣體標準化研究中的應用;
2、在氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督和質(zhì)量控制中的應用;
3、儀器儀表的校準與刻度;
4、大氣環(huán)境監(jiān)測離不開標準校正氣體;
5、在醫(yī)療衛(wèi)生、臨床化驗中的應用;
6、在分析方法的評價方面。
(3)電子工業(yè)用混合氣:
電子工業(yè)用混合氣是指在大規(guī)模集成電路(LSI)、很大規(guī)模集成電路(VLSI)和半導體器件制造中,用于氣相外延生長、化學氣相淀積、攙雜、蝕刻和離子注入等工藝(工序)的一類特別電子混合氣。主要有外延(生長)混合氣、化學氣相淀積用混合氣、攙雜混合氣、蝕刻混合氣和其他電子混合氣。
(4)電光源混合氣:
主要用作白熾燈、特種光源燈(如紅外線、強烈溢光燈、熒光燈、發(fā)光信號、太陽燈、臭氧燈、光化學燈、滅菌燈、紫外線燈、輝光燈、鋯弧光燈、鹵素氣體照明燈等)和數(shù)字顯示管的充填氣。常見品種依其特性劃分為稀有氣體混合氣、重氫混合氣和燈泡氬混合氣。為了延長燈具壽命,配制電光源混合氣用的單元純氣體,其純度要求一般均大于99.99%,并應嚴格控制氧化類雜質(zhì)組分的含量。
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